特許
J-GLOBAL ID：200903062987774755
クリーンルームの室圧制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094261
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルームの室内圧をセンサ出力に基づいて空調装置からの送風量で制御し、また、空調装置の停止や異常発生時には排気装置を停止させることで、クリーンルーム内の圧力を安定に維持及びシステムの信頼性の向上を可能にする。【構成】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調した空気を送風ファンによってクリーンルーム2に供給する空調装置1、クリーンルーム2から空気を強制的に排出させるための排気装置3、及びクリーンルーム2の室内外の差圧を検出する差圧センサ4の各々を備え、差圧センサ4の検出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制御して室内圧を維持すると共に、空調装置1の停止または異常時には空調装置1を停止させる。
請求項（抜粋）：
外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供給する空調装置と、前記クリーンルームから空気を強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンルーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、該センサの検出信号に基づいて前記送風ファンの回転を制御すると共に前記空調装置の停止または異常時に前記排気装置を停止させる制御手段とを具備することを特徴とするクリーンルームの室圧制御装置
引用特許：
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