特許
J-GLOBAL ID:200903062994396367
炉内雰囲気調整用ガス供給ノズル
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-066936
公開番号(公開出願番号):特開平7-278819
出願日: 1994年04月05日
公開日(公表日): 1995年10月24日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、金属を特定の雰囲気で熱処理する際に、雰囲気調整用のガスとして、例えば鋼板を化学気相蒸着処理で滲珪して 6.5%Si高珪素鋼板とする場合のSiCl4 +N2 を、昇温加熱して熱処理炉内へ供給する炉内雰囲気調整用ガス供給ノズルに関するものである。【構成】 炉内ヒータを備えた炉に用いられる炉内雰囲気調整用ガス供給ノズルであって、炉の側壁を貫通する状態で炉内に挿入される同心二重筒と、この同心二重筒の内筒内に設けられたヒーター装置と、このヒーター装置で加熱された後のガスが通過する内筒内に設けられた通気性を有する充填帯とを備え、前記同心二重筒の外筒には前記ガスを炉内に吹出すための吹出し孔が形成されていることを特徴とする炉内雰囲気調整用ガス供給ノズル。
請求項(抜粋):
炉内ヒータを備えた炉に用いられる炉内雰囲気調整用ガス供給ノズルであって、炉の側壁を貫通して炉内に挿入される同心二重筒と、この同心二重筒の内筒内に設けられたヒーター装置と、このヒーター装置で加熱された後のガスが通過する内筒内に設けられた通気性を有する充填帯とを備え、前記同心二重筒の外筒には前記ガスを炉内に吹出すための吹出し孔が形成されていることを特徴とする炉内雰囲気調整用ガス供給ノズル。
前のページに戻る