特許
J-GLOBAL ID：200903063005892462
変位センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325095
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178701
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 簡易構成で高精度に効率よく取り付け、位置調整できる構成の変位センサを提供することを目的とする。【構成】 スケール1を検出する検出ヘッド本体102を有し、スケール1の検出によりスケール1との相対的変位を検出するための変位センサで、検出ヘッド本体102がフレーム101に対して検出部102aを一体的に組み込んだ構成になっている。
請求項（抜粋）：
スケール手段を検出する検出ヘッド本体を有し、該スケール手段の検出により前記スケール手段との相対的変位を検出するための変位センサで、検出ヘッド本体がフレーム部に対して検出部を一体的に組み込んだ構成になっていることを特徴とする変位センサ。
IPC (4件)：
G01D 5/36
, G01B 11/00
, G01D 5/245
, G01D 5/34
