特許
J-GLOBAL ID:200903063013100621
収容ケース
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉田 茂明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-331423
公開番号(公開出願番号):特開2001-148417
出願日: 1999年11月22日
公開日(公表日): 2001年05月29日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 ディスク体の表面を損傷させることなく確実かつ容易に運搬することが可能な収容ケース、および設備投資を効率化するための収容ケースを提供する。【解決手段】 ディスク体(半導体ウエハW)を収容する収容ケース10は、ディスク収容空間4と、ディスク体Dの周縁部を保持する保持部5とを備える。この保持部5により確実にディスク体を保持することができ、また、ディスク体を覆うカバー部として機能する収容ケース10に収容してディスク体を搬送することができる。また、2つの収容ケース10を接続部6により接合して組み合わせることにより、ディスク体を完全に覆う枚葉式ディスクケースとして構成することができる。さらに、複数段に積み重ねた枚葉式ディスクケースをホルダー体によって束ねて保持することにより、複数のディスク体を収容することが可能な収容ケースとしても用いることができる。
請求項(抜粋):
ディスク体を収容する収容ケースであって、互いに略平行に配置される半円形状の天板部および底板部と、前記天板部の円弧周縁部と前記底板部の円弧周縁部との間に設けられる周壁部と、前記天板部と前記底板部との間に設けられ前記ディスク体を収容するディスク収容空間と、前記ディスク収容空間の内側に設けられ前記ディスク体の周縁部を保持する保持部と、を備えた単位収容ケースにより構成されることを特徴とする収容ケース。
IPC (3件):
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/86
FI (4件):
H01L 21/68 T
, H01L 21/68 V
, B65D 85/00 H
, B65D 85/38 R
Fターム (43件):
3E068AA33
, 3E068AB04
, 3E068AB05
, 3E068AC06
, 3E068BB01
, 3E068BB09
, 3E068CC01
, 3E068CD02
, 3E068CD03
, 3E068DD25
, 3E068DD27
, 3E068DE13
, 3E068DE14
, 3E068EE01
, 3E068EE06
, 3E068EE17
, 3E068EE32
, 3E096AA01
, 3E096AA14
, 3E096BA16
, 3E096BB04
, 3E096CA03
, 3E096CB02
, 3E096DA03
, 3E096DA11
, 3E096DA13
, 3E096DB01
, 3E096DB07
, 3E096DC01
, 3E096DC02
, 3E096FA09
, 3E096FA19
, 3E096FA27
, 3E096GA01
, 3E096GA11
, 3E096GA14
, 5F031CA01
, 5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA12
, 5F031EA10
, 5F031EA19
, 5F031PA18
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