特許
J-GLOBAL ID：200903063015485040
プラズマ励起用電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-184450
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086238
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】プラズマ励起用電極に発生する定在波の影響をなくし、且所要数の分割電極に於けるプラズマ密度の偏りを解消し、電極全体のプラズマ密度の均一化を向上させると共にプラズマ密度を所望のプラズマ密度とすることを可能とする。【構成】プラズマ励起用電極8を所要数の分割電極9,10,11に分割し、各分割電極に高周波電源2を接続すると共に各分割電極に直列に可変コンデンサ21,22,23を接続し、プラズマ励起用電極を分割することで電極に発生する定在波の影響を少なくし、又可変コンデンサにより各電極のプラズマ発生状態を変化させ、電極全体のプラズマ密度の制御を行う。
請求項（抜粋）：
プラズマ励起用電極を所要数の分割電極に分割し、各分割電極に高周波電源を接続すると共に各分割電極に直列に可変コンデンサを接続したことを特徴とするプラズマ励起用電極。
IPC (5件)：
H01L 21/3065
, H01L 21/205
, H05H 1/46
, C23C 16/50
, C23F 4/00
