特許

J-GLOBAL ID：200903063017103633

有機金属気相成長装置

発明者： 成塚 重弥 ,  芦沢 康夫 ,  野田 隆夫 ,  藤田 忍 ,  和賀井 晶
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248751
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090161
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】安全な固体原料を使用効率よく有効に結晶成長に使うことができる有機金属気相成長装置を提供することを目的とする。【構成】固体V族材料13を収容する容器12と、反応管21内に設けられたV族吹出し口15と、容器12と吹出し口14をむすび、かつ容器12より高温に加熱された加熱配管と、それらと隔離された別系統の III族供給ラインを有する有機金属気相成長装置。

請求項（抜粋）：

反応容器と、固体V族材料を収容するV族材料容器と、この容器を加熱して固体V族材料を蒸発させるための加熱手段と、反応容器内に設けられ前記固体V族材料の蒸気を吹出すV族吹出し口と、前記V族材料容器と前記吹出し口とを結び、前記V族材料容器より高温に加熱された加熱配管と、これらと隔離されて設けられ、前記反応容器内に III族元素を含有する物質を供給するための III族元素供給ラインとを有することを特徴とする有機金属気相成長装置。