特許
J-GLOBAL ID：200903063018361474

圧電振動子及びその製造方法並びにその圧電振動子を用いた圧電発振器の製造方法

発明者：
中澤 利夫

中澤 利夫 について


出願人/特許権者：
京セラキンセキ株式会社

京セラキンセキ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-099796
公開番号（公開出願番号）：特開2006-279872
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる圧電振動子を提供することにある。【解決手段】 本発明の圧電振動子は、支持基板の上面とカバー部材とを、封止部材で両者間に封止空間を形成するように接合し、前記封止空間内に圧電振動素子を収容してなる圧電振動子において、前記支持基板をシリコン基板によって形成するとともに、前記シリコン基板には、貫通配線が設けられ、シリコン基板の外周領域には、封止する為の導体パターンが形成されていることを特徴とするものである。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
支持基板の上面とカバー部材とを、封止部材で両者間に封止空間を形成するように接合し、前記封止空間内に圧電振動素子を収容してなる圧電振動子において、前記支持基板をシリコン基板によって形成するとともに、前記シリコン基板には、貫通配線が設けられ、前記シリコン基板の外周領域には、封止する為の導体パターンが形成されていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (4件)：
H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/215
FI (5件)：
H03H9/02 A ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H03H3/02 C ,  H03H9/215
Fターム (29件)：
5J079AA04 ,  5J079AA06 ,  5J079BA00 ,  5J079BA02 ,  5J079BA43 ,  5J079DB04 ,  5J079FA01 ,  5J079HA16 ,  5J079HA21 ,  5J108AA04 ,  5J108AA06 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG09 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108JJ01 ,  5J108JJ04 ,  5J108MM01 ,  5J108MM02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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