特許

J-GLOBAL ID：200903063024304385

異物検査装置

発明者： 安武 正敏
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-367885
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193434
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 光学顕微鏡では検出が困難な微小パーテイクルを短時間で、位置精度良く、又誤検出少なく検出できる異物検出装置を提供する。【解決手段】 ウエハーの斜め上方向から、照射するレーザー1と、ウエハー5の表面からの散乱光を集光する対物レンズ6と、集光した散乱光を結像するイメージインテシファイアー等の2 次元光検出器8を有し、また、2次元光検出器の前にレンズ系14と開孔12を有し、凹凸の異物を弁別できる構成とした。

請求項（抜粋）：

被検査ウエハーの表面に斜め方向から、レーザーを照射し、ウエハー表面からの散乱光を対物レンズで集光し、散乱光をイメージインテンシファイアー付きCCD等の2次元光検出器に結像する異物検査装置において、前記対物レンズをウエハーに対して垂直に振動させて光散乱像を2次元光検出器上に結像させ、前記2次元光検出器上の光散乱像の径の最小位置より異物のZ方向位置を、前記2次元光検出器上の光散乱像の形状より、異物の形状を測定することを特徴とする異物検査装置

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/24 K ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 620 ,  G01N 21/88 645 A

Fターム (53件)：

2F065AA03 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EA02 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106CB19 ,  4M106DB02 ,  4M106DB03 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB14 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ21