特許
J-GLOBAL ID:200903063033574441

恒温・恒湿空気供給装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-220127
公開番号(公開出願番号):特開2001-041495
出願日: 1999年08月03日
公開日(公表日): 2001年02月13日
要約:
【要約】【課題】 入口空気と出口空気の湿度差が小さい場合の除湿エネルギーの浪費を抑え、冷却能力の小さな除湿器を採用して装置を小型化できるようにする。【解決手段】 通気ダクト40Aは、空気取入口411より取り込まれた入口空気の一部を、除湿器10、加熱器20、加湿器30をバイパスして送るバイパスダクト50Aを備えて構成される。ファン412の運転により空気取入口411より取り込まれた入口空気は、その一部が本流空気として除湿器10に直接送り込まれ、残りがバイパス流空気としてバイパスダクト50Aへ送り込まれる。本流空気は、除湿器10で除湿され、加熱器20で加熱され、加湿器30で加湿される。バイパス流空気は、バイパスダクト50Aを経て加湿器30の後方まで送り込まれ、上記本流空気と混合された後、出口空気として供給される。
請求項(抜粋):
入口空気を露点まで冷却除湿する除湿器と、除湿された空気を加熱する加熱器と、加熱された空気を加湿する加湿器とを通気ダクト中に配置して成る恒温・恒湿空気供給装置において、前記通気ダクト内に、少なくとも前記除湿器をバイパスするバイパス流路を設け、前記入口空気を前記除湿器を通過する本流空気と前記バイパス流路を通過するバイパス流空気とに分流し、前記除湿器を通過後の前記本流空気を前記バイパス流路を通過してくる前記バイパス流空気と混合するようにしたことを特徴とする恒温・恒湿空気供給装置。
IPC (3件):
F24F 3/153 ,  H01L 21/027 ,  H01L 35/30
FI (3件):
F24F 3/153 ,  H01L 35/30 ,  H01L 21/30 564 C
Fターム (3件):
5F046JA07 ,  5F046JA24 ,  5F046JA27

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