特許
J-GLOBAL ID：200903063039742419
基板縁部の薄膜除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220921
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054424
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 角型の基板例えばLCD基板の一辺全体をカバーできる大きさの溶剤吐出部を用いて基板縁部の不要な薄膜を溶剤により除去するにあたり、小さな吸引能力で効率よく除去すること。【解決手段】 コ字型の基体3の上部に溶剤タンク4を設け、タンク4の底面を湾曲させると共に、この湾曲部分に筒状体5を接合し、前記底面及び筒状体5の周方向に沿った3ケ所に、スリット幅が基板2中央側のもの程大きくなるようにスリット(4a、5a)、(4b、5b)、(4c、5c)を形成する。筒状体5内に、スリット52を有するロッド体51を設け、ロッド体51を回動させてスリット52を上記の3ケ所のスリットに連通させることにより、溶剤吐出部50を基板2の外側に傾けながら、溶剤の吐出流量を多くする。
請求項（抜粋）：
表面に薄膜が形成された角型の基板の縁部の不要な膜を除去する装置において、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板の一辺に対応する長さに形成された溶剤吐出口を有し、前記基板保持部に保持された基板の縁部に対向して位置するように設けられると共に、前記一辺に沿って伸びる水平な軸の回りに回動自在な溶剤吐出部と、前記溶剤吐出口が基板にほぼ真向かうように位置し、次いで基板の端縁側斜めに向いた位置となるように前記溶剤吐出部を回動させる回動機構と、前記溶剤吐出口が基板にほぼ真向かっているときよりも基板の端縁側斜めに向いているときの方が、溶剤の吐出流量が多くなるように溶剤吐出流量を調整する調整部と、前記溶剤及び溶剤による薄膜の溶解物を吸引して排出するための吸引排出路と、を備えたことを特徴とする基板縁部の薄膜除去装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B08B 3/02
, B08B 3/08
, B08B 5/04
, H01L 21/304 341
H01L 21/30 577
, B08B 3/02 D
, B08B 3/08 Z
, B08B 5/04 A
, H01L 21/304 341 N
