特許

J-GLOBAL ID：200903063039808029

化学センサ

発明者： 浮田 宏生 ,  大口 脩 ,  桑野 博喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-174071
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018878
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 従来の水晶振動子を用いた化学センサよりも著しく小型化することができると共に測定感度を大幅に上げることが可能な化学センサを提供する。【構成】 基板31に保持され且つパルス状の熱エネルギにより固有振動が励起される振動子34と、この振動子34にパルス状の熱エネルギを付与するパルス状熱エネルギ供給源27と、振動子34の固有振動を検出するためのレーザ光をこの振動子に照射するレーザ光源15と、振動子34からのレーザ光の反射光に基づいて振動子34の固有振動数の変化を検出する光検出器22と、振動子34の表面に形成され且つ特定の気体分子を吸着し得る選択性吸着層18とを具えたものである。

請求項（抜粋）：

基板に保持され且つパルス状の熱エネルギにより固有振動が励起される振動子と、この振動子に前記パルス状の熱エネルギを付与するパルス状熱エネルギ供給源と、前記振動子の前記固有振動を検出するためのレーザ光をこの振動子に照射するレーザ光源と、前記振動子からの前記レーザ光の反射光に基づいて前記振動子の固有振動数の変化を検出する光検出器と、前記振動子の表面に形成され且つ特定の気体分子を吸着し得る選択性吸着層とを具えた化学センサ。