特許
J-GLOBAL ID:200903063039866185

光学的測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-223017
公開番号(公開出願番号):特開平10-185808
出願日: 1997年08月04日
公開日(公表日): 1998年07月14日
要約:
【要約】【課題】 散乱性物質中の特定物質を高精度に非侵襲的に測定できるようにする。【解決手段】測定対象物200に光を照射する光源装置202では、光源6からの光を光源光学系216で調整して音響光学素子4に入射させ、音響光学素子4で分光と変調を行なう。音響光学素子4から出射した1次回折光を集光光学系20により集光し、照射光学系220により測定対象物200に照射する。光検出装置204は受光部230とデータ処理部107とを備え、受光部230は変調された測定光の変動に応じた信号を複数の異なる増幅度の信号にして同時に出力する。データ処理部107はそれらの信号のうちで増幅器の値が飽和せず、かつ増幅度の最も大きいものを選択し、かつ測定光を変調した変調周波数でロックイン処理する。
請求項(抜粋):
測定対象物に光を照射する光源装置と、その測定対象物による透過散乱光を測定光として受光し検出する光検出装置と、前記光源装置及び光検出装置の動作を制御する制御部とを備えた光学的測定装置において、前記光源装置は、光源と、音響光学結晶に音響波トランスデューサを備えた分光素子としての音響光学素子と、前記音響波トランスデューサから音響光学結晶に与える音響波周波数を変化させて分光を行ない、前記音響波トランスデューサの駆動信号の強度変調により音響光学素子の出力光を変調させる音響光学素子駆動装置と、前記光源からの光を前記音響光学素子の窓口のサイズより小さい光束で、かつ前記音響光学素子の許容角度よりも小さい伝播角度をもった光線として前記音響光学素子に入射させる光源光学系と、前記音響光学素子から出射した+1次回折光及び-1次回折光をそれぞれ互いに空間的に異なる位置に集光する集光光学系と、前記集光光学系により集光された+1次回折光と-1次回折光のうちの少なくとも一方を測定対象物に照射する照射光学系とを備え、前記光検出装置は、変調された測定光に応じた信号を出力する検出素子と、前記検出素子の出力を入力し、複数の異なる増幅度の信号を同時に出力する増幅器と、前記増幅器の増幅度の異なる複数の出力信号をそれぞれデジタル信号に変換するA/D変換器と、前記A/D変換器の複数の出力信号を入力し、それらの信号のうちで前記増幅器又は前記A/D変換器の値が飽和せず、かつ増幅度の最も大きいものを選択するチャネル選択手段、その選択された信号を測定光を変調した変調周波数と同期した発振信号と重ね合わせる同期信号処理手段、及びその同期信号処理された信号の積分により測定値を求める積分手段を備えたデータ処理部とを備えたものであることを特徴とする光学的測定装置。
IPC (2件):
G01N 21/35 ,  G01J 3/12
FI (2件):
G01N 21/35 Z ,  G01J 3/12

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