特許
J-GLOBAL ID：200903063060239000
半導体装置のリード曲がり検査方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336107
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198353
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】リード曲がりを容易に、しかも高速かつ高精度に検査できるリード曲がり検査装置を提供する。【構成】搬送レール3は封止体7と複数のリード8L,8Rとを備えたIC6を摺動可能に案内する。検出センサー19L,19Rは搬送レール3上を移動するIC6のリード8L,8Rの先端部を検出する。そして、判定回路は、検出センサー19L,19Rにより各リードが検出されてから移動方向においてそのリードの後続のリードが検出されるまでの時間間隔を求めるとともに、順次各時間間隔の差を求める。そして、判定回路はいずれかの差時間が予め設定された規定時間を超えるとき、リード曲がりであると判定する。
請求項（抜粋）：
複数のリードを有する封止型半導体装置と前記封止型半導体装置のリードを検出するための検出センサとを相対移動させ、前記検出センサにより各リードが検出されてからそのリードに隣接するリードが検出されるまでの時間間隔を求めるとともに、順次各時間間隔の差を求め、各差時間が予め設定された規定時間を超えるとき、リード曲がりであると判定するようにしたことを特徴とする半導体装置のリード曲がり検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
