特許
J-GLOBAL ID：200903063060778059
記憶装置を有する製品およびその混流生産装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323139
公開番号（公開出願番号）：特開平5-154728
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】 低周波の振動が残留して露光中にレチクル像とウエハとの相対位置の変化が発生しても、パタ-ンの線幅のばらつきや、重ね合わせ精度の低下を防止することができ、パタ-ンの線幅が0.5μm以下の回路パタ-ンを、高い精度の線幅で、しかも高精度に重ね合わせることができるパターン露光方法およびその装置を提供する。【構成】 前記パタ-ンの投影光学系を介した投影像とウエハとの間の振動に伴う相対位置の変化状態および変位量を、前記振動の主要周波数の数倍以上の周波数を有するサンプリング周波数によりサンプリングして計測し、該計測値に応じてウエハたまは/およびマスクまたはレチクルを前記投影露光中に微動変位させ、前記投影像とウエハとの間の相対位置変位を補正することを特徴とするパタ-ン露光方法。
請求項（抜粋）：
製品機能作動用の読み出し可能な記憶装置が内蔵された記憶装置を有する製品において、前記記憶装置に、自己の製品機種情報が読み出し可能に記録されてなることを特徴とする記憶装置を有する製品。
IPC (2件)：
B23P 21/00 307
, B23Q 41/00
