導電性セラミックとその製造方法及び用途

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140285
公開番号（公開出願番号）：特開平8-012462
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【目的】耐熱性と耐酸化性を向上させ、セラミックフィルタ材質として好適な導電性セラミックを提供すること。【構成】窒素及び/又は窒化物の合計を窒素分として1〜5重量%含み、室温比抵抗10Ωcm以下である多孔質β型炭化珪素焼結体からなることを特徴とする導電性セラミック、炭化珪素粉末、水、解膠剤、有機バインダー及び有機系発泡剤を混合して発泡スラリーを調製し、それを吸水性のある型で流し込み成形してから乾燥・脱脂し、窒素ガス圧5kg/cm2 以上、温度2000°C以上で焼成することを特徴とする導電性セラミックの製造方法、及び気孔径5〜300μm、気孔率30〜90%の上記導電性セラミックで構成されてなることを特徴とするセラミックフィルタ。

請求項（抜粋）：