特許

J-GLOBAL ID：200903063067785182

光学系の調整方法、結像光学系、露光装置、および露光方法

発明者： 池沢 弘範 ,  大村 泰弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-041371
公開番号（公開出願番号）：特開2005-235921
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：

【課題】 一般のレンズ調整による補正が困難な収差の発生を良好に抑えて乾燥型結像光学系から液浸型結像光学系へ切り換えることのできる調整方法。【解決手段】 像面に接する気体層を介して像を形成する乾燥型結像光学系を、像面に接する浸液層を介して像を形成する液浸型結像光学系に変える調整方法。乾燥型結像光学系中の最も像面側に配置された第1光学部材(P3a)の像面側の平面状の光学面と像面との平行度を測定する測定工程(S1)と、第1光学部材を液浸型結像光学系用の第2光学部材(P3)と交換する交換工程(S2)と、測定工程の測定結果を参照して、第2光学部材の像面側の平面状の光学面を像面に対してほぼ平行に位置決めする位置決め工程(S3)とを備えている。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

像面に接する気体層を介して像を形成する乾燥型結像光学系を、像面に接する浸液層を介して像を形成する液浸型結像光学系に変える調整方法であって、 前記乾燥型結像光学系中の最も前記像面側に配置された第1光学部材の像面側の平面状の光学面と前記像面との平行度を測定する測定工程と、 前記第1光学部材を前記液浸型結像光学系用の第2光学部材と交換する交換工程と、 前記測定工程の測定結果を参照して、前記第2光学部材の前記像面側の平面状の光学面を前記像面に対してほぼ平行に位置決めする位置決め工程とを備えていることを特徴とする調整方法。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G02B13/18 ,  G02B13/24

FI (4件)：

H01L21/30 515D ,  G02B13/18 ,  G02B13/24 ,  H01L21/30 516A

Fターム (29件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087NA06 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087QA18 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA33 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA42 ,  2H087RA43 ,  2H087RA45 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  5F046BA03 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB19 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13