特許
J-GLOBAL ID:200903063069884382

基板の収納ケース

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-150734
公開番号(公開出願番号):特開平9-328188
出願日: 1996年06月12日
公開日(公表日): 1997年12月22日
要約:
【要約】【課題】主要外形寸法を基板のサイズによらず統一して多種サイズの基板の混在量産を自動で可能とする。基板サイズにより配置を変える必要の有る部位は入れ子構造として主要部の成形型を共用とすることでケースの製作コストを低く抑え、また扉閉時基板を弾性体により挟み込む構造とすることでがた無く固定する。【解決手段】ケースの主要外形寸法を基板のサイズによらず統一して自動機のケース装着用ラックを兼用としケース外壁面に設けたサイズ検出用凸(または凹)部を自動検出する。また異なるサイズのケースの製作には基板サイズに応じて配置を変える必要の有る部位即ち基板を載置する受け台,スタンド、基板サイズ検出部のみ入れ子構造とし主要部の成形型を共用する。一方、ケース内の基板の固定は扉を閉じたとき弾力のある材料で基板を挟み込みこむ構造とする。
請求項(抜粋):
ホトマスク、レチクルやセラミックスなどの角形基板を1枚づつ収納するケースであってその上下面と概ね平行方向に基板を挿抜するための開閉扉部材を有するケースにおいて、外形を含む主要寸法は一定とし、凹または凸状部を基板サイズに対応して収納ケースのボディー外壁面に設けたことを特徴とする基板の収納ケース。
IPC (5件):
B65D 85/86 ,  B65D 85/00 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (5件):
B65D 85/38 R ,  B65D 85/00 F ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/30 503 E

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