試料の分離装置及び分離方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256134
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075915
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】貼り合わせ基板等の試料或いは複合部材を適切に分離する。【解決手段】この分離装置500は、流体を噴射する楔型ノズル503と、楔型ノズル503を貼り合わせ基板50に当接させ、又は、貼り合わせ基板50に挿入するエアシリンダ505とを備える。楔型ノズル503が貼り合わせ基板50に当接され、又は、貼り合わせ基板50に挿入された状態で、楔型ノズル503から流体を噴射させることにより、貼り合わせ基板50を多孔質層で分離することができる。

請求項（抜粋）：

試料の分離装置であって、流体を噴射するノズルと、前記ノズルを試料に当接させ、又は、該試料に挿入する操作部と、を備え、前記ノズルが前記試料に当接され、又は、前記試料に挿入された状態で、前記ノズルから流体を噴射させながら前記試料を分離することを特徴とする分離装置。

IPC (8件)：

H01L 21/301 , B23P 17/00 , H01L 21/02 , H01L 21/76 , H01L 21/762 , H01L 27/12 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (9件)：

B23P 17/00 A , H01L 21/02 B , H01L 27/12 B , H01L 27/12 H , H01L 21/78 A , H01L 21/76 P , H01L 21/76 R , H01L 21/76 D , H01L 29/78 627 D

Fターム (56件)：

5F032AA06 , 5F032AA13 , 5F032AA35 , 5F032AA44 , 5F032CA17 , 5F032DA67 , 5F032DA71 , 5F110AA30 , 5F110CC02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE06 , 5F110EE09 , 5F110EE32 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF22 , 5F110FF27 , 5F110FF29 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG04 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HJ15 , 5F110HK05 , 5F110HK40 , 5F110HL01 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL22 , 5F110HL24 , 5F110HM15 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN24 , 5F110NN25 , 5F110NN62 , 5F110NN66 , 5F110QQ11 , 5F110QQ17

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