特許
J-GLOBAL ID：200903063080964053
線材引張試験装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-259837
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072088
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 実使用状態に近い形でボンディングワイヤの引張試験を実行する。【構成】 XY方向に移動操作し得るように構成され、試料1の一端側を保持する試料台14と、その他端側を把持するクランパ18と、試料台14に保持された試料1を加熱するヒータ13と、クランパ18に係合される張力検出器32と、張力検出器32を移動させるステッピングモータ37と、張力検出器32の移動量を検出する変位検出器43と、張力検出器32および変位検出器43の検出データに基づいて張力-歪量関係を演算する演算器43とを備えている。【効果】 ワイヤ2の一端部を薄板3にボンディングして試料1を作成し、薄板3を試料台14で保持し、ワイヤ2の他端部をクランパ18で把持して、モータ37の駆動によりワイヤ2に張力を加えて引張試験し、試験中、試料1をヒータ13で加熱することにより、実使用状態でワイヤの引張試験を実行する。
請求項（抜粋）：
XY方向に移動操作し得るように構成されており、試料の一端側を保持する試料台と、試料台に保持された試料の他端側を把持するクランパと、試料台に保持された試料を加熱する加熱手段と、クランパに係合される張力検出器と、張力検出器を移動させるためのモータと、張力検出器の移動量を検出する変位検出器と、張力検出器の検出データおよび変位検出器の検出データに基づいて張力-歪量関係を演算する演算器とを備えていることを特徴とする線材引張試験装置。
IPC (2件)：
G01N 3/08
, H01L 21/60 301
