特許
J-GLOBAL ID:200903063081762985

高周波回路用感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-117348
公開番号(公開出願番号):特開平11-305421
出願日: 1998年04月27日
公開日(公表日): 1999年11月05日
要約:
【要約】【課題】 高エネルギー線照射後、硬化した感光性樹脂組成物の解像度の低下をもたらすことなしに、誘電率を低下させることのできる高周波回路用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 エチレン性不飽和結合を有するプレポリマーもしくはオリゴマーと、エチレン性不飽和結合を有する単量体とを必須成分とし、該プレポリマーもしくはオリゴマーがジカルボン酸成分とジオール成分との縮重合によって得られる数平均分子量が500〜50000の不飽和ポリエステルであり、該ジオール成分の全モル比を1として、炭素数が4〜10のアルキルジオール成分をモル比で0.5〜1含むことを特徴とする不飽和ポリエステルであって、単量体成分が一分子中にアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を少なくとの3個有し、かつ該アクリロイル基もしくはメタクリロイル基が結合している炭素間に15個以下の原子を有している化合物を少なくとの1種以上含む高周波回路用感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
エチレン性不飽和結合を有するプレポリマーもしくはオリゴマーと、エチレン性不飽和結合を有する単量体とを必須成分とする液状感光性樹脂組成物において、該プレポリマーもしくはオリゴマーがジカルボン酸成分とジオール成分との縮重合によって得られる数平均分子量が500〜50000の不飽和ポリエステルであって、且つ該ジカルボン酸成分が、該ジカルボン酸成分の全モル比を1として、下記化学式(a)で示される化合物をモル比で0.1〜0.4と、下記化学式(b)で示される化合物をモル比で0.1〜0.4とを含み、該ジオール成分が、該ジオール成分の全モル比を1として、炭素数が4〜10のアルキルジオール成分をモル比で0.5〜1含む不飽和ポリエステルであり、上記エチレン性不飽和結合を有する単量体が一分子中にアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を少なくとも3個有し、且つ該アクリロイル基もしくはメタクリロイル基が結合している炭素間に15個以下の原子を有している化合物を少なくとも1種含むことを特徴とする高周波回路用感光性樹脂組成物。【化1】【化2】(式中R1 、R2 はそれぞれ-COOHまたは-CH2 COOHを、R3 、R4はそれぞれ-Hまたは-CH3 を表す。)
IPC (4件):
G03F 7/00 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/033
FI (4件):
G03F 7/00 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/033

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