特許
J-GLOBAL ID：200903063083409336
シャドウマスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-072622
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270092
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：
【要約】【課題】 シャドウマスクを形成する際に、金属薄板を脱脂処理及びその後の工程でのレジスト薄膜の除去処理等が必要となるが、これらの処理においては所定の溶液を用いて処理されているが、十分な脱脂もしくは除去処理を行うことができず、このためにシャドウマスクの電子ビーム通過孔の不揃いやレジスト残り、折れや皺が発生していたが、このような障害を抑制して高品位なシャドウマスクが得られるシャドウマスクの製造方法を提供する。【解決手段】 所要の処理溶液をノズル装置12に1〜10Paで供給するとともに、気体を1〜5Paで供給して、ノズル装置12内で両者を混合し、ノズル装置12の噴射口25からシャドウマスクを形成する金属薄板11面にスプレーすることで、金属薄板11の脱脂あるいは金属薄板11面上に形成されたレジスト被膜を除去する。
請求項（抜粋）：
供給された金属薄板を脱脂用の溶液を用いて脱脂する脱脂工程と、この脱脂処理された金属薄板に感光剤を塗布してレジストを形成する工程と、このレジスト面を露光、現像して所定のレジストパターンを形成する工程と、このレジストパターンが形成された金属薄板をエッチングする工程と、このエッチングされた金属薄板をレジスト剥離用の溶液を用いてレジストを除去する除去処理工程からなるシャドウマスクの製造方法において、前記脱脂処理工程及び除去処理工程の少なくとも一方の処理工程において、1〜10Paの処理液、及び1〜5Paの気体とを各別の供給口から供給してノズル装置の混合室にて両者を混合し、この混合した処理液をオリフィスを介した後ノズルの噴射口から前記金属薄板面上にスプレーすることを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
Fターム (3件)：
5C027HH07
, 5C027HH08
, 5C027HH10
