特許
J-GLOBAL ID：200903063083696874

感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者：
伊藤 俊樹

伊藤 俊樹 について

, 
市橋 靖久

市橋 靖久 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066299
公開番号（公開出願番号）：特開2004-348114
出願日： 2004年03月09日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】 特に波長400〜450nm光による露光に対して感度、解像度に優れ、現像後のレジストの断面形状が略矩形である感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。【解決手段】 支持体と、該支持体上に設けられた(A)バインダポリマ、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物から構成される感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメントであって、上記感光性樹脂組成物は、上記(C)成分としてクマリン系化合物を含有しており、上記(A)及び(B)成分の総量100重量部に対する上記クマリン系化合物の重量部をP、上記感光性樹脂組成物層の膜厚をQ[μm]、としたときの、PとQとの積であるRが、10.0≦R≦22.0を満たすことを特徴とする感光性エレメント。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
支持体と、該支持体上に設けられた(A)バインダポリマ、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物から構成される感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメントであって、 前記感光性樹脂組成物は、前記(C)成分として下記一般式(I)で示されるクマリン系化合物を含有しており、 前記(A)及び(B)成分の総量100重量部に対する前記クマリン系化合物の重量部をP、前記感光性樹脂組成物層の膜厚をQ[μm]、としたときの、PとQとの積であるRが、下記式(1)の条件を満たすことを特徴とする感光性エレメント。 10.0≦R≦22.0 ...(1)
IPC (7件)：
G03F7/031 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  H05K3/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18
FI (7件)：
G03F7/031 ,  C08F2/44 C ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D
Fターム (53件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PA85 ,  4J011PA86 ,  4J011PA96 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA12 ,  4J011RA03 ,  4J011RA06 ,  4J011SA62 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  5E339AB02 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E343AA02 ,  5E343AA15 ,  5E343AA17 ,  5E343BB24 ,  5E343CC63 ,  5E343EE02 ,  5E343EE13 ,  5E343EE43 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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