特許
J-GLOBAL ID：200903063085971309
コンタクトプローブおよびその製造方法と前記コンタクトプローブを備えたプローブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-049481
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246734
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 コンタクトプローブにおいて、屈曲部分の亀裂等を抑制することを課題とする。【解決手段】 複数のパターン配線3がフィルム2上に形成されこれらのパターン配線の各先端が前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピン3aとされるコンタクトプローブ1であって、前記コンタクトピンは、その途中位置Vの両側面に切欠部Uが形成され、かつ前記途中位置で厚さ方向に折曲されている技術が採用される。
請求項（抜粋）：
複数のパターン配線がフィルム上に形成されこれらのパターン配線の各先端が前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブであって、前記コンタクトピンは、その途中位置の両側面に切欠部が形成され、かつ前記途中位置で厚さ方向に折曲されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
