特許

J-GLOBAL ID：200903063096032851

反射光学素子及び露光装置

発明者： ダグラス シー ワトソン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-177555
公開番号（公開出願番号）：特開2005-004146
出願日： 2003年06月23日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】EUV光源と、光源からのEUV光をレチクルに導く照明光学系と、レチクルパターンを感応基板上に投影させる投影光学系とを有する露光装置に用いられる反射光学素子であって、局所的な熱の発生による変形を防止するように表面形状を変形可能とする。【解決手段】変形可能な反射鏡と、反射鏡210の裏面に力を加える複数のパッシブアクチュエータ250と、反射鏡の裏面に力を加える複数のアクティブアクチュエータ240と、を有することを特徴とする反射光学素子200。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

変形可能な反射鏡と、 前記反射鏡の裏面に力を加える複数のパッシブアクチュエータと、 前記反射鏡の裏面に力を加える複数のアクティブアクチュエータと、を有することを特徴とする反射光学素子。

IPC (7件)：

G02B5/10 ,  G02B7/198 ,  G02B26/06 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02 ,  H01L21/027

FI (7件)：

G02B5/10 B ,  G02B26/06 ,  G03F7/20 521 ,  G21K1/06 N ,  G21K5/02 X ,  H01L21/30 531A ,  G02B7/18 B

Fターム (12件)：

2H041AA23 ,  2H041AB38 ,  2H041AC01 ,  2H041AC04 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H042DD11 ,  2H042DE00 ,  2H043BB05 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01