特許

J-GLOBAL ID：200903063108634852

ポリッシングの終点検知方法

発明者： 木村 憲雄 ,  坂田 文彦 ,  高橋 圭瑞
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-024812
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197417
出願日： 1995年01月19日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】 ポリッシング中にトップリングに往復運動させることによって困難となるポリッシングの終点の検知を可能にする一方法を提供する。【構成】 回転するターンテーブル12上面に貼設した研磨布11上にポリッシング対象物14を保持したトップリング13を押圧するとともに、該トップリングをターンテーブル上を往復運動させてポリッシング対象物を平坦且つ鏡面に研磨するポリッシングの研磨終点を検知する方法において、前記往復運動するトップリング13のターンテーブル12回転中心からの距離が同一である位置におけるターンテーブルに働くトルクを断続的に検出し、前記ポリッシング対象物14の研磨が異材質に達したときに生じる研磨摩擦力の変化を検知することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転するターンテーブル上面に貼設した研磨布上にポリッシング対象物を保持したトップリングを押圧するとともに、該トップリングをターンテーブル上を往復運動させてポリッシング対象物を平坦且つ鏡面に研磨するポリッシングの研磨終点を検知する方法において、前記往復運動するトップリングのターンテーブル回転中心からの距離が同一である位置におけるターンテーブルに働くトルクを断続的に検出し、前記ポリッシング対象物の研磨が異材質に達したときに生じる研磨摩擦力の変化を検知することを特徴とするポリッシングの終点検知方法。