アクチュエータの検査方法、インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェット式記録装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-021052
公開番号（公開出願番号）：特開2002-225285
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】アクチュエータブロックを圧力室ブロックに接合する前に検査する検査方法、および当該検査方法を利用したインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】基板60上に第1電極15と圧電素子30と第2電極50とを順に積層した後、第2電極50および圧電素子30の一部をエッチングし、第1電極15の露出部15Aを形成する。第1電極15の露出部15Aと第2電極50とに検査用プローブ69を接触させ、圧電素子30の比誘電率、誘電損失および圧電定数を測定する。

請求項（抜粋）：

圧電素子と、該圧電素子の両側に設けられた第1および第2電極とを有するアクチュエータの検査方法であって、基板上に第1電極と圧電素子と第2電極とが順に積層されてなりかつ該第1電極の一部が露出しているアクチュエータ形成用部材を作製する工程と、検査用プローブを上記第1電極の露出部と上記第2電極とに接触させ、上記圧電素子の特性を検査する検査工程とを有していることを特徴とするアクチュエータの検査方法。

IPC (5件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 U , H01L 41/22 Z

Fターム (12件)：

2C057AF93 , 2C057AF99 , 2C057AG15 , 2C057AG44 , 2C057AN05 , 2C057AP02 , 2C057AP24 , 2C057AP52 , 2C057AP77 , 2C057AP82 , 2C057BA04 , 2C057BA14

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