精密洗浄方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栂村繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323334
公開番号（公開出願番号）：特開平7-155709
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】洗浄効果を向上させる。【構造】オゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水で被洗浄物を洗浄する精密洗浄方法、及びオゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水を被洗浄物に噴射する噴射ノズルを設け、噴射ノズルに超音波振動子を付加したこと、更に噴射ノズルを洗浄を行う回転ブラシの上流側に設置した精密洗浄装置及びオゾンガス及び酸素ガスを溶解させた純水を被洗浄物を浸漬させる洗浄槽に収容し、洗浄槽に超音波振動子を付加した精密洗浄装置。

請求項（抜粋）：