特許

J-GLOBAL ID：200903063122915805

ウエハ洗浄装置

発明者： 三浦 正彦
出願人/特許権者： 宮城沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280308
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121415
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 構成を簡素化するとともに、省エネルギー化を図ることができるウエハ洗浄装置を提供する。【解決手段】 ウエハ洗浄装置において、ウエハ1の厚さよりも大きい間隙を持つ洗浄セル6と、この洗浄セル6に連通するとともに、この洗浄セル6の断面積より大きい断面積を有する配管2とを備え、前記ウエハ1に洗浄液3の流通圧力を付与して供給しウエハ洗浄を行うようにしたものである。

請求項（抜粋）：

(a)ウエハの厚さ程度の厚みが薄い断面積が小さい洗浄セルと、(b)該洗浄セルに連通するとともに、該洗浄セルの断面積より大きい断面積を有する配管とを備え、(c)前記ウエハに洗浄液の流通圧力を付与して供給しウエハの洗浄を行うことを特徴とするウエハ洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/10 ,  B08B 3/12

FI (5件)：

H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 T ,  B08B 3/10 Z ,  B08B 3/12 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平1-140631
  
• 特開平3-124028
  
• 超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-031726   出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開平1-140631
  
• 特開平3-124028
  
• 超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-031726   出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社