特許
J-GLOBAL ID：200903063124729693
ツルーイング工具及びツルーイング工具付きウェーハ面取り装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-160981
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347901
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】【課題】簡単な機構で砥石のツルーイングを行うことができるツルーイング工具及びツルーイング工具付きウェーハ面取り装置の提供。【解決手段】円盤状に形成された台金の外周部にツルーイング砥石14が固着されてなるツルアー10がウェーハテーブル100の回転軸であるθ軸シャフト98に装着されている。ツルーイングは、ツルアー10とを回転させるとともに、ツルアー10を外周加工砥石108に向けて移動させ、回転する外周加工砥石108の溝108aに押し当てることにより行う。
請求項（抜粋）：
ウェーハ面取り装置の砥石をツルーイングするツルーイング工具において、前記ツルーイング工具は、円盤状に形成された基材の外周部にツルーイング砥石が固着されて構成されており、前記ウェーハ面取り装置のウェーハテーブルの同軸上に装着され、前記ウェーハテーブルと前記砥石とを回転させて相対的に近づけることにより、回転しながら前記砥石と接触して前記砥石をツルーイングすることを特徴とするツルーイング工具。
引用特許：
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