位置検出用光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078731
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265308
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】構成が簡単、低コストで、検出リニアリティが良く、所定の位置検出分解能を有する位置検出用光学装置を提供する【構成】線状光源4からの計測光が、被検出物(基板10のエッジT)の最大検出範囲内に照射され、結像レンズ3を経てCCDラインセンサ2に入射する構成である。結像レンズ3は、開口径が1mm、f=10mm、硝材がBK7、被検出物側の実効F数が20の両凸レンズ1枚で構成した。線状光源の大きさKLは、被検出物の検出最大範囲KAの境界ER、ELを通過した光束が、結像レンズ3の開口内に入射する計測光を出射できるように、18mm以上で構成した。被検出物が検出範囲内のどの位置にあっても被検出物を通過する光の実効主光線は結像レンズ3の開口中心を通過する。

請求項（抜粋）：

被検出物の位置の検出、あるいは所定の基準位置に対する前記被検出物の変位量の検出を行うための位置検出用光学装置であって、前記被検出物に計測光を照射する光源と、受光面における光の入射位置に応じて入射光の光量を検出する光量検出器と、前記被検出物の像を前記光量検出器の受光面上に形成する結像手段と、を備え、かつ、前記結像手段は、前記被検出物側の実効F数が15以上であり、前記光源は、前記被検出物の位置が検出できる最大検出範囲の境界を通過する光束が、前記結像手段の開口内に入射する計測光を出射する大きさを有することを特徴とする位置検出用光学装置。

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