特許
J-GLOBAL ID：200903063128811726
処理システムのキャリア搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210977
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037166
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】[目的]処理システムにおいて、外部のキャリア搬送手段の負担を軽減し、処理システム内のキャリア搬送効率および被処理体製品の歩留まりを向上させる。[構成]垂直方向に配設されたシリンダ72のピストンロッド74の先端に基板76が水平に取付され、この基板76上に立設された垂直支持板78に回転軸80を介してアーム支持部82が回転可能に取付され、このアーム支持部82の上面に第1アーム84がアーム長手方向に摺動可能に取付され、この第1アーム84の上面に第2アーム88がアーム長手方向に摺動可能に取付されている。基板76の基端部上に配設されたエアシリンダ110のピストンロッド112が前進または後退すると、回転軸80を中心としてアーム支持部82および第1および第2アーム84,88が回動する。
請求項（抜粋）：
1つまたは複数の処理装置を有し、いずれかの前記処理装置で所定の処理を受ける板状の被処理体をキャリアに収容した状態で搬送するようにした処理システムにおいて、各々の前記処理装置へ前記キャリアを搬入または搬出するために所定の搬送路を移動するように構成されたキャリア移送手段と、前記キャリア移送手段に取付され、前記キャリアを脱着可能に支持する搬送アームを二段伸縮させるアーム伸縮手段と、前記キャリア移送手段に取付され、前記キャリア内の被処理体が傾くように前記搬送アームに支持された前記キャリアを任意の角度で傾けるキャリア傾げ手段と、を具備したことを特徴とするキャリア搬送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, B65G 47/52 101
