特許

J-GLOBAL ID：200903063131829636

脱気水の製造方法及び脱気水製造用モジュール

発明者： 高武 正義 ,  富田 康司 ,  飯島 理恵
出願人/特許権者： 大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-288710
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134446
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【構成】脱気すべき水の流路間隔が190μm以下、好ましくは60〜150μm隔膜式脱気水製造用モジュールを用い、その気相側を液相側に流した水の飽和水蒸気圧以下に減圧しつつ液相側に脱気すべき水を流して脱気することを特徴とする脱気水の製造方法及び脱気水製造用モジュール。【効果】本発明の脱気水の製造方法により、溶存酸素濃度50ppb以下、好ましくは10ppb以下の超純水を従来の方法と比較して、小型で単純な装置で容易に、かつ低コストで多量に生産可能である。

請求項（抜粋）：

脱気すべき水の流路間隔が190μm以下の隔膜式脱気水製造用モジュールを用い、その気相側を減圧しつつ液相側に脱気すべき水を流して脱気することを特徴とする脱気水の製造方法。

IPC (5件)：

C02F 1/20 ,  B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  B01D 63/02 ,  B01D 71/26