特許

J-GLOBAL ID：200903063134915479

加速度センサ

発明者： イーリ マレク ,  ディートリッヒ シューベルト ,  ヘルムート バウマン ,  ホルスト ミュンツェル ,  ミヒャエル オッフェンベルク ,  マルティン ヴィルマン
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-250432
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201719
出願日： 1993年10月06日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 加速度センサの中空室内に規定された圧力を封入し得るようにする。【構成】 3つの上下に重なったシリコン板1・2・3の中央のシリコン板2に可動要素4が形成されている。これによって形成された中空室5は加速度センサの製作の際に外側のシリコン板3に形成されている穴6によって排気される。穴6は別の板10によって閉鎖されている。

請求項（抜粋）：

中央のシリコン板(2)と2つの外側のシリコン板(1・3)とを有する加速度センサであって,中央のシリコン板(2)には,中央のシリコン板(2)に固定されていてセンサの加速度によって可動である要素(4)が形成されており,この可動要素(4)は3つのシリコン板(1・2・3)によって形成されている中空室(5)内に封入されており,外側のシリコン板(1・3)がこの中空室(5)の壁を形成している形式のものにおいて,外側のシリコン板(1・3)の少なくとも一方が1つの別の板(10〜13)と結合されており,この少なくとも一方の外側のシリコン板によって形成されている中空室(5)の壁に穴(6)が形成されていて,この穴(6)は別の板(10〜13)によって気密に閉じられていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84