特許
J-GLOBAL ID：200903063136506312
処理容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-101805
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311640
出願日： 2003年04月04日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】低コストで、大型化の容易な、軽量の処理容器を提供する。【解決手段】処理容器を構成する板状部材30にダブルスキン構造を適用する。すなわち、板状部材30は、処理空間の内壁を形成する内板31と、内板31から所定距離離間してこれを包囲する外板32と、内板31と外板32との間に設けられたリブ板33と、を備える。リブ板33は、所定のパターンで折り曲げられた形状を有し、内板31と外板32との間には中空が形成される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
処理空間を画定する板状部材を備えた処理容器であって、
前記板状部材は、
処理空間に接する第1の板と、
前記第1の板の外周を包囲する第2の板と、
前記第1の板と、前記第2の板と、の間に中空を形成するように、前記第1の板と前記第2の板とを接続するリブ板と、
を備える、ことを特徴とする処理容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 101B
, B23K20/12 366
4E067BG00
, 4E067DA13
, 4E067DA17
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BB29
, 5F004BC03
, 5F004BD01
, 5F004BD04
