特許

J-GLOBAL ID：200903063147821643

ポジ型レジスト組成物

発明者： 日城 良樹 ,  山本 茂樹 ,  竹山 尚幹
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068674
公開番号（公開出願番号）：特開平7-281018
出願日： 1994年04月06日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 塗布性、色調及び解像度等の諸性能に優れたポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】 水素原子が1個置換されたスルホンアミド基を有する化合物、アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、及び主成分として乳酸エステルを含有するレジスト溶剤を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。【効果】 上記レジスト溶剤は上記の置換スルホンアミド基を有する化合物の良溶剤であり、又、当該化合物が色素であっても上記レジスト組成物はその経時安定性に優れているから、諸性能に優れたカラーフィルターを与える。

請求項（抜粋）：

水素原子が1個置換されたスルホンアミド基を有する化合物、アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、及び主成分として乳酸エステルを含有するレジスト溶剤を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 ,  C09B 69/00 ,  C09D 11/00 PTE ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/022