加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-308459
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127151
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】可動部に固定部側に勢いよく衝突するのを緩和し、支持梁の破壊を防止して、加速度センサの信頼性を向上させる。【解決手段】ガラス基板32上に低抵抗のシリコンからなる各固定部33,可動部34を設け、各固定部33に固定電極33Aを一体形成すると共に、可動部34を支持部35,支持梁36,質量部37および可動電極37A,37Aから大略構成する。また、支持部35には、変位方向両側に位置するように衝撃緩和用ストッパ40,40を形成する。この衝撃緩和用ストッパ40は支持部35の両側から質量部37に向けて延びる一の衝撃緩和用梁部41と、質量部37の両側から支持部35に向けて延びる他の衝撃緩和用梁部42とからなる。梁部41,42が衝突するときに、弾性変形して質量部37の変位速度を低下させ、固定部33に衝突するときの衝撃を低減し、支持梁36の保護を図る。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられた低抵抗なシリコンからなる固定部と、該固定部と空間を介して離間した状態で前記絶縁基板上に設けられた低抵抗なシリコンからなる可動部とを有し、前記固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、該支持部から絶縁基板上を延びる支持梁と、該支持梁の先端側に設けられ、加速度が作用したときに該加速度に応じて固定部との間で近接,離間するように変位する質量部と、該質量部に前記固定電極との間で隙間を介して対向するように設けられた可動電極とから一体形成してなり、前記質量部の変位に対応する前記固定電極と可動電極との間の静電容量を加速度として検出する加速度センサにおいて、前記可動部には前記可動電極が固定電極側に変位するときに該可動電極と固定電極が衝突する前に質量部の動きを緩和する衝撃緩和用ストッパを形成したことを特徴とする加速度センサ。

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