特許
J-GLOBAL ID：200903063161622408
走査型プローブ顕微鏡、並びにその高さ方向較正用基準器および較正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-064665
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233836
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 簡単な構造で安価であり、高い精度の較正を簡単に行うことができる実用性の高い走査型プローブ顕微鏡、較正方法、較正用基準器を提供する。【構成】 試料14を載置する試料テーブル12と、探針22を備えたカンチレバー21と、カンチレバーを取付け、探針と試料の相対的位置を変位させるxyz スキャナ20と、カンチレバーの変位を検出する変位検出装置23と、xyz スキャナの動作量を検出する歪ゲージ61X-61Z を備え、xyz スキャナで試料表面を走査しながら探針と試料の間に作用する物理量に基づくカンチレバーのたわみ量を変位検出装置で検出し、たわみ量を制御して試料表面を測定し、少なくとも1方向に高精度のピッチp1が定められた格子パターン53を有する較正測定用基準試料51と、この基準試料51を、ピッチが定められた1方向が傾斜方向と一致するように試料テーブルに傾斜させて配置する傾斜ブロック54を備える。
請求項（抜粋）：
試料を載置する試料テーブルと、前記試料に対向する探針を備えたカンチレバーと、前記カンチレバーを取付けると共に前記探針と前記試料の相対的位置を変位させる3軸微動機構と、前記カンチレバーの変位を検出する変位検出装置と、前記3軸微動機構の動作量を検出する動作量センサとを備え、前記3軸微動機構によって前記試料の表面を走査しながら前記探針と前記試料の間に作用する物理量に基づく前記カンチレバーのたわみ量を前記変位検出装置で検出し、かつ前記たわみ量を制御して前記試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡に適用される較正方法であり、前記試料テーブルに基準試料を配置し、前記3軸微動機構を動作させて前記基準試料の表面を測定し、その測定の間に前記3軸微動機構の動作量を前記動作量センサで較正値として検出し、前記動作量センサで得られた較正値を用いて実際の試料測定を行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の較正方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
