特許
J-GLOBAL ID：200903063162691055
感光性板ガラスの加工方法およびこれを利用したインクジェットプリントヘッド用ヘッド基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331560
公開番号（公開出願番号）：特開平9-169544
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】感光性板ガラス1を用いて貫通穴3を形成する一次加工の後、貫通穴3を含む領域に所定深さの凹陥部2をエッチングによって形成する場合において、この二次加工のための耐エッチング処理を簡略化する。【解決手段】感光性板ガラス1に貫通穴3を開けた後、この貫通穴3を含む領域に凹陥部2を形成する場合において、上記感光性ガラス1に対してその一面側に上記領域を臨ませるようにして形成したマスキング4を介して露光処理をし、かつ現像処理をした後に、上記感光性板ガラス1の他面側にペースト状の耐エッチング剤13を用いて所定厚みの耐エッチング剤層13aを印刷形成するとともに、上記耐エッチング剤層13aを加熱乾燥する際にいったん流動化する耐エッチング剤13の一部を上記貫通穴3の内面に馴染ませ、その状態において上記感光性板ガラス1をエッチング液に所定時間晒す。
請求項（抜粋）：
感光性板ガラスに貫通穴を開けた後、この貫通穴を含む領域に凹陥部を形成する方法であって、上記感光性ガラスに対してその一面側に上記領域を臨ませるようにして形成したマスキングを介して露光処理をし、かつ現像処理をした後に、上記感光性板ガラスの他面側にペースト状の耐エッチング剤を用いて所定厚みの耐エッチング剤層を印刷形成するとともに、上記耐エッチング剤層を加熱乾燥する際にいったん流動化する耐エッチング剤の一部を上記貫通穴の内面に馴染ませ、その状態において上記感光性板ガラスをエッチング液に所定時間晒すことを特徴とする、感光性板ガラスの加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03C 15/00 Z
, B41J 3/04 103 H
