特許
J-GLOBAL ID：200903063182842033
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337802
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152266
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 洗浄処理後の処理済み基板をカセット内に収納する際の再汚染を回避できるようにする。【構成】 基台上に載置された状態で基板Wを多段に収納するカセットと、基板Wを洗浄処理する基板洗浄処理部側とにわたって移動する移動台26に、カセットから基板Wを取り出す基板取り出し用アーム32と、処理済み基板Wをカセットに搬送収納する処理済み基板収納用アーム33とを設けるとともに、処理済み基板収納用アーム33を昇降し、その基板支持面を、基板取り出し用アーム32の基板支持面より下方である基板取り出し用アーム作用位置と、基板取り出し用アーム32の基板支持面より上である処理済み基板収納用アーム作用位置とに変位可能に構成する。
請求項（抜粋）：
基台上に載置された状態で基板を多段に収納するカセットと、前記基板を洗浄処理する基板洗浄処理部との間で、真空吸着により載置保持して前記カセット内の基板を取り出して前記基板洗浄処理部に搬送するとともに前記基板洗浄処理部で洗浄処理した後の処理済み基板を搬送して前記カセット内に収納する基板搬送装置において、前記基板洗浄処理部への搬送のために前記カセットから前記基板を取り出す基板取り出し用搬送機構と、前記処理済み基板を前記カセットに搬送収納する処理済み基板収納用搬送機構とをそれぞれ専用に設けたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, G02F 1/13 101
, H01L 21/68
