特許
J-GLOBAL ID:200903063183211622

X線検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-325060
公開番号(公開出願番号):特開2004-157076
出願日: 2002年11月08日
公開日(公表日): 2004年06月03日
要約:
【課題】X線検査装置において、被検体の載置される位置の違いによって生じる透過画像の誤差を無くし、より精度が高く、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することを目的とする。【解決手段】本発明にかかるX線検査装置は、被検体にX線を照射する照射手段と、被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段とを備えるX線検査装置であって、前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被検体にX線を照射する照射手段と、 被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、 検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段と、 を備えるX線検査装置であって、 前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、 前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成することを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件):
G01N23/04
FI (1件):
G01N23/04
Fターム (13件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA07 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA09 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001PA01 ,  2G001PA11

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