レーザ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 廣瀬繁樹 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-108594
公開番号（公開出願番号）：特開2006-281308
出願日： 2005年04月05日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】導光路内のビーム雰囲気を低コストでもって良好に維持する。【解決手段】レーザ発振器(2)と、該レーザ発振器から出力されるレーザを集光する集光光学系(13)と、レーザ発振器からのレーザを集光光学系まで導く導光路(30)と、空気を除湿する除湿手段(40)と、除湿手段によって除湿された除湿空気を導光路まで供給する供給手段(31、32)とを具備するレーザ装置(100)が提供される。除湿手段(40)により除湿された除湿空気の大気圧露点は0°C以下である。レーザ発振器(2)と集光光学系(13)との間の距離(L)が所定の値よりも大きい場合には、複数の除湿手段(40a、40b)を含むようにするのが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ発振器と、該レーザ発振器から出力されるレーザを集光する集光光学系と、前記レーザ発振器からの前記レーザを前記集光光学系まで導く導光路と、該導光路内の空気を除湿する除湿手段とを具備するレーザ装置。

IPC (3件)：

B23K 26/08 , B23K 26/14 , H01S 3/02

FI (3件)：

B23K26/08 N , B23K26/14 Z , H01S3/02

Fターム (12件)：

4E068CA05 , 4E068CA07 , 4E068CE07 , 4E068CH09 , 4E068CJ01 , 4E068CJ03 , 5F172AD05 , 5F172EE22 , 5F172NN23 , 5F172NR30 , 5F172WW07 , 5F172ZZ01

引用特許：

出願人引用 (1件)

アルカリ性電解水
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-297609 出願人：松尾至晃, ミズ株式会社

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