特許
J-GLOBAL ID：200903063189645535
ウエハ加工用テープおよびその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228620
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077192
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【構成】 フッ素含有モノマーを含むモノマー混合物を反応性界面活性剤を用いて重合しアクリル系樹脂エマルジョン粘着剤を得る。基材フィルムに同粘着剤を塗布してウエハ加工用テープを得る。【効果】 本ウエハ加工用テープは耐水性に優れ、かつ、研削後のウエハ表面の汚染を防止する。
請求項（抜粋）：
フッ素含有モノマーが3.0〜20.0重量%であるモノマー混合物100重量部に反応性界面活性剤0.1〜5.0重量部を添加して重合し、アクリル系樹脂エマルジョン粘着剤とした後、該アクリル系樹脂エマルジョン粘着剤を基材フィルムに塗布してなることを特徴とするウエハ加工用テープ。
IPC (3件)：
H01L 21/304 331
, C09J 7/02 JJW
, C09J 7/02 JLE
