特許

J-GLOBAL ID：200903063193420505

金属部材のイオン窒化方法

発明者： 石井 芳朗 ,  柳沼 良和
出願人/特許権者： 株式会社ライムズ ,  住友金属鉱山株式会社 ,  日本電子工業株式会社 ,  日本コーティングセンター株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-285952
公開番号（公開出願番号）：特開平7-118826
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：

【要約】【目的】金属部材の表面粗度をほとんど変化させることなく均一にイオン窒化する手段を提供する。【構成】金属部材を所定の温度に保持し、アンモニアガスと水素ガス等の雰囲気下でグロー放電を行いイオン窒化する方法において、グロー放電の発光分光分析によりNHラジカル/窒素イオン(N2+)の発光強度比を求める。この発光強度比が10/1以上となるプラズマ状態でイオン窒化する。【効果】電流密度の低いグロー放電でも金属部材の表面粗度を変化させることなく短時間にイオン窒化処理できる。

請求項（抜粋）：

金属部材を300〜650°Cの温度に保持し、アンモニアガスと水素ガスを用い、金属部材の表面に0.001〜2.0 mA/cm2 の電流密度のグロー放電を行いイオン窒化する金属部材のイオン窒化方法において、該金属部材の表面近傍のグロー放電の発光分光分析を行い、NHラジカル/窒素分子イオン(N2+)の発光強度比が10/1以上となるプラズマ状態でイオン窒化することを特徴とする金属部材のイオン窒化方法。