特許

J-GLOBAL ID：200903063197587382

圧電/電歪型アクチュエータ及びその製造方法

発明者： 伊藤 恵介
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282979
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111127
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体からなる圧電/電歪層と、Pt、Pd、Ag又はこれらの合金からなる電極層とを積層し、焼結一体化した圧電/電歪型アクチュエータにおいて、前記チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体中への電極成分の拡散による特性劣化がなく、大きな変位量が得られるとともに、所定形状とするために研削加工を施しても欠けやチッピングが発生しないようにする。【解決手段】基本組成式がPbZrTiO3で表され、PbがBa、Sr、Laのうち1種以上の元素で一部置換され、且つZrとTiがNb、Zn、Sb、Ni、Mgのうち1種以上の元素で一部置換されたチタン酸ジルコン酸鉛系焼結体からなる圧電/電歪層2に、Pt、Pd、Ag又はこれらの合金からなる電極層を焼結一体化して成り、前記焼結体中における電極成分の割合を1.0重量%以下、気孔率を1%以下、最大気孔径を10μm以下として圧電/電歪型アクチュエータを構成する。

請求項（抜粋）：

基本組成式がPbZrTiO3で表され、前記基本組成式のPbをBa、Sr、Laのうち少なくとも1種以上の元素で一部置換し、且つZrとTiをNb、Zn、Sb、Ni、Mgのうち少なくとも1種以上の元素で一部置換したチタン酸ジルコン酸鉛系焼結体からなる圧電/電歪層に、Pt、Pd、Ag又はこれらの合金からなる電極層を焼結一体化して成り、前記チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体中における前記電極成分の割合が1.0重量%以下、気孔率が1%以下、最大気孔径が10μm以下であることを特徴とする圧電/電歪型アクチュエータ。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  B28B 11/04 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00

FI (5件)：

B28B 11/04 ,  H02N 2/00 C ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

Fターム (20件)：

4G055AA08 ,  4G055AC01 ,  4G055BA14 ,  4G055BA35 ,  4G055BA40 ,  4G055FA01 ,  4G055FA07 ,  5H680AA04 ,  5H680AA12 ,  5H680DD23 ,  5H680DD27 ,  5H680DD39 ,  5H680DD92 ,  5H680DD95 ,  5H680FF01 ,  5H680FF14 ,  5H680GG02 ,  5H680GG41 ,  5H680GG42 ,  5H680GG43