特許
J-GLOBAL ID：200903063205142921
精密片面露光装置および露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117477
公開番号（公開出願番号）：特開平8-314149
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ワークに所定パターンを形成する精密片面露光装置および露光方法を提供する。【構成】紫外線を含む光線を照射する光源装置2と、光学系3と、透光板4と、メイン真空吸着機構21と、透光板4を保持手段5により保持する上フレーム8と、上フレーム8の作動手段10と、位置決めマークを撮像する撮像手段11と、ワークWを載置する載置台9と、載置台9の位置決め手段16とを備え、載置台9は、載置部17を備え、載置部17は、ワークWを真空吸着する吸引孔9eを形成し、吸引孔9eに連通する第1減圧室9Aを有し、第1減圧室9Aの回りに第2減圧室9Bを設け、メイン真空吸着機構21の開口部を、第2減圧室9Bに沿って設け、保持手段5は、透光板4の真空吸着機構と、固定機構7とからなり、固定機構7は、透光板4の側端面を押圧して透光板4を固定する構成とする。
請求項（抜粋）：
ワークを露光する露光装置であって、紫外線を含む光線を照射する光源装置と、前記光源装置からの光線を、ワークに平行光として照射する平面反射鏡やフライアイレンズなどの光学系と、所定パターンが形成された透光板と、前記透光板にワークを真空密着させるメイン真空吸着機構と、前記透光板を着脱自在に保持手段を介して保持する枠状の上フレームと、前記上フレームを上下に作動させる作動手段と、前記透光板とワークの位置決めマークを撮像する撮像手段と、前記ワークを載置する載置台と、前記載置台を水平方向の所定位置に移動させる位置決め手段とを備え、前記載置台は、中央側に凸状に形成したワークの載置部を備え、前記載置部は、ワークを真空吸着する吸引孔を形成し、前記吸引孔に連通する第1減圧室を有し、前記第1減圧室の回りに第2減圧室を設け、前記メイン真空吸着機構の開口部を、前記第2減圧室に沿って設け、前記保持手段は、透光板を真空吸着する吸着機構と、前記吸着機構で上フレームに吸着した透光板の固定機構とからなり、前記固定機構は、透光板の側端面を押圧して透光板を固定することを特徴とする精密片面露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 511
, G03F 9/00
G03F 7/20 511
, G03F 9/00 G
