特許

J-GLOBAL ID：200903063212407523

薄膜形成装置

発明者： 町田 克之 ,  久良木 億 ,  井関 出 ,  上山 勉
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社 ,  大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319277
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135629
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 大面積の基板に対して表面が平坦で均一な膜厚の薄膜を容易にかつ低コストで転写する。【解決手段】 第1、第2のプレート2,5を上下に対向配置し、第1のプレート2の下面にウエハ3を装着する。第1、第2のプレート2,5間にシートフイルム6を配置し、その外周縁部をフィルム保持緊張機構31によって保持し緊張させる。フィルム保持緊張機構31は、シートフィルム6の径方向にスライド自在な第1の挾持板36と、この第1の挾持板36に回動自在に取付けられた第2の挾持板38と、第1の挾持板36をシートフィルム6の径方向外方に移動させることによりシートフィルム6に一定の張力を付与し緊張させる引張りコイルばね39と、第2の挾持板38を閉方向に付勢する捩りコイルばね44と、第2の挾持板38を通常開いた状態に保持し、フィルム挾持時に係止状態を解除するアクチュエータ45とで構成されている。

請求項（抜粋）：

互いに相対移動自在に対向して配設され、いずれか一方のプレートの対向面に基板が装着され、他方のプレートの対向面に薄膜を有する円形のシートフィルムが装着される第1、第2のプレートと、前記基板と前記シートフィルムの少なくとも一方を加熱する加熱手段と、前記第1のプレートまたは第2のプレートの少なくともいずれか一方を移動させて前記基板と前記シートフィルムを所定の時間押し付けて前記薄膜を基板に転写する加重機構と、前記シートフィルムの周りに配設されシートフィルムの外周縁部を保持し緊張させる複数個のフィルム保持緊張機構とを備えてなり、前記フィルム保持緊張機構は、シートフィルムの径方向にスライド自在な第1の挾持板と、この第1の挾持板をシートフィルムの挾持時にシートフィルムの径方向外方に移動させる手段と、前記第1の挾持板に回動自在に取付けられた第2の挾持板と、この第2の挾持板を閉方向に付勢する付勢手段と、通常は前記第2の挾持板を開位置に係止することにより前記第1、第2の挾持板をフィルム挾持位置に保持し、フィルムの挾持時に第2の挾持板の係止状態を解除するアクチュエータとを備えたことを特徴とする薄膜形成装置。

IPC (2件)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/316

FI (2件)：

H01L 21/31 Z ,  H01L 21/316 B

Fターム (6件)：

5F045EM01 ,  5F058BC02 ,  5F058BC05 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BJ01