特許
J-GLOBAL ID：200903063221212387
乾燥機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335376
公開番号（公開出願番号）：特開平6-159940
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 乾燥炉に対する吸気風量と排気風量とを自動調整して、炉内の圧力制御を自動化する。【構成】 吸気手段2で吸気した空気を温風生成手段3により加熱して乾燥炉1内へ送り込み、排気手段5で乾燥炉1の外へ排気する。乾燥炉1の空気吸気側に設けた風量検知手段4と、風量検知手段4で検出した風量情報が入力されると共に吸気風量に対して最適な排気風量となるように信号変換して排気手段5を制御する信号変換手段6とを備える。
請求項（抜粋）：
吸気手段で吸気した空気を温風生成手段により加熱して乾燥炉内へ送り込み、排気手段で乾燥炉の外へ排気する乾燥機において、前記乾燥炉の空気吸気側に設けられた風量検知手段と、この風量検知手段で検出した風量情報が入力されると共に吸気風量に対して最適な排気風量となるように信号変換して前記排気手段を制御する信号変換手段とを備えていることを特徴とする乾燥機。
IPC (2件)：
F26B 21/12
, H01L 21/304 361
