特許
J-GLOBAL ID：200903063222632320
基板搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019576
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202174
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 吸引チャックによる塗布膜への影響を解消するとともに、安定して確実に基板を搬送するための、基板搬送方法を提供するものであり、特に、液晶表示装置の表示パネルに代表されるガラス基板に、感光性樹脂膜や接着剤層、保護膜などの塗布膜を形成する塗布装置に適した基板搬送方法を目的とする。【解決手段】 塗布液を塗布して基板に塗布膜を形成する塗布部1と、該塗布膜を乾燥させる乾燥部2とからなる塗布処理ラインにおいて、吸着部と把手部とで構成された吸着治具を、吸着治具装着部3にて基板の非塗布面に装着して、前記吸着治具の把手部をつかんで塗布膜を形成する基板を搬送し、乾燥工程を終了後、吸着治具離脱部4にて基板から吸着治具を取り外す基板搬送方法であって、吸着治具離脱部4にて基板から取り外した吸着治具を、吸着治具装着部3に戻し、再度、基板の非塗布面に装着させる吸着治具搬送装置80を備えている基板搬送方法である。
請求項（抜粋）：
塗布液を塗布して基板に塗布膜を形成する塗布工程と、該塗布膜を乾燥させる乾燥工程とからなる塗布膜形成工程において、把手部と吸着部とで構成された吸着治具を、あらかじめ塗布工程前に、基板の非塗布面に吸着させ、前記吸着治具の把手部をつかんで塗布膜を形成する基板を搬送し、乾燥工程を終了後、基板から吸着治具を取り外すことを特徴とする塗布膜形成工程における基板搬送方法。
IPC (5件)：
B05D 3/00
, B05C 3/18
, B05C 13/00
, B05D 1/26
, B65G 49/07
B05D 3/00 G
, B05C 3/18
, B05C 13/00
, B05D 1/26
, B65G 49/07 E
