特許
J-GLOBAL ID:200903063222654219

液晶表示素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-257911
公開番号(公開出願番号):特開平9-101493
出願日: 1995年10月04日
公開日(公表日): 1997年04月15日
要約:
【要約】【課題】 表示むらが生じるのを可及的に防止する。【解決手段】 透明な基板2上に電極3及び配向膜4を形成する工程と、配向膜が形成された基板1上にスペーサ6とフォトレジスト7の混合層を形成する工程と、フォトレジストの膜厚がスペーサの径にほぼ等しくなるように前記混合層を加圧し、露光する工程と、混合層を現像する工程と、を備えていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
透明な基板上に電極及び配向膜を形成する工程と、前記配向膜が形成された基板上にスペーサとフォトレジストの混合層を形成する工程と、前記フォトレジストの膜厚が前記スペーサの径にほぼ等しくなるように前記混合層を加圧し、露光する工程と、前記混合層を現像する工程と、を備えていることを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
IPC (2件):
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339
FI (2件):
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339

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