特許
J-GLOBAL ID：200903063231452831
マスフローコントローラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095286
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289750
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 マスフローコントローラにおいて、ゼロ点ドリフト補正及びゼロ点調整幅補正の機能を備えたセンサ部を簡単に交換できるようにすること。【構成】 流量を検出するセンサ部、流量を調節するバルブ部、及びこれらの働きを制御する制御回路部を有するマスフローコントローラにおいて、前記センサ部を収納するケースを設け、ゼロ点ドリフト補正用抵抗及びゼロ点調整幅補正用抵抗等の内少なくとも一部を前記ケースに付設あるいは一体的に組込んだマスフローコントローラである。さらに前記ゼロ点シフト補正用抵抗及びゼロ点調整幅補正用抵抗は、それぞれ異なった抵抗値を持った複数個のチップ抵抗であって、このチップ抵抗は、上記制御回路部にそれぞれ接続可能にプリント配線されているものである。
請求項（抜粋）：
流量を検出するセンサ部、流量を調節するバルブ部、及びこれらの働きを制御する制御回路部を有するマスフローコントローラにおいて、前記センサ部を収納するケースを設け、センサ補正回路の少なくとも一部を前記ケースに付設あるいは一体的に組込んだことを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
